2014 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT) : 19-21 Nov. 2014, Kobe, Japan / Institute of Electrical and Electronics Engineers
- Författare
- author Institute of Electrical and Electronics Engineers
- Språk
- Okänt
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| IEEE | uuuu-uuuu | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | 978-1-4799-5557-2 |