Advanced processes for 193-nm immersion lithography
- Författare
- Yayi Wei
- (Yayi Wei, Robert L. Brainard.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE Press | 2009 | USA, Bellingham, Wash | online resource (xix, 315 sidor) illustrationer | 978-0-8194-7843-6 |