Area selective chemical vapor deposition of metallic films using plasma electrons as reducing agents

Författare
Hama Nadhom
(Hama Nadhom.)
Genre
theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University 2021 Sverige, Linköping xiii, 55 sidor illustrationer 978-91-7929-632-2
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University 2021 Sverige, Linköping 1 onlineresurs (xiii, 55 sidor) illustrationer