Atomic layer deposition electronic resource - principles, characteristics, and nanotechnology applications
- Författare
- Tommi. Kääriäinen
- (Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman.)
- Genre
- Bibliografi, Electronic books.
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| John Wiley & Sons | 2013 | New Jersey, Hoboken, New Jersey | 1 online resource. | 978-1-118-74740-7, 978-1-118-74742-1 |