Cathodic arc synthesis of Ti-Si-C-N thin films from ternary cathodes
- Författare
- Anders Eriksson
- (Anders Eriksson.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2010 | Sverige, Linköping | 37 sidor illustrationer | 978-91-7393-273-8 |
| Linköping University Electronic Press | 2010 | Sverige, Linköping | 1 onlineresurs (37 sidor) illustrationer |