Chemical vapor deposition of tungsten and tungsten silicides - for VLSI/ULSI applications
- Författare
- John E. J. Schmitz
- (John E.J. Schmitz.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Noyes | cop. 1992 | USA, Park Ridge, N.J | xvi, 235 sidor. ill. |