Chemical vapour deposition of tungsten for integrated circuit applications
- Författare
- Thomas Eriksson
- (Thomas Eriksson.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1991 | Sverige, Stockholm | 128 sidor. diagr., tab. 24 cm |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1991 | Sverige, Stockholm | 128 sidor. diagr., tab. 24 cm |