Chemically assisted ion beam etching and properites of single electron traps in MOS structures
- Författare
- Zhaohua Xiao
- (Zhaohua Xiao.)
- Språk
- Engelska
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Chalmers tekn. högsk. | 1990 | Sverige, Göteborg | 44 sidor. diagr., ill. |