Colloque international sur la microlithographie - microélectronique...optique... = International conference on microlithography : microelectronics...optics
- Författare
- Colloque international sur la microlithographie 1977) (Paris :
- (Organisé par Société des électriciens, des électroniciens et des radioélectriciens (SEE), Tour Olivier des Serres, Paris 21-24 juin 1977.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Franska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1977 | Frankrike, Paris | 351 sidor. diagr., ill., tab. |