Design and Manufacturing of Active Microsystems
- Författare
- Stephanus. Büttgenbach
- (Edited by Stephanus Büttgenbach, Arne Burisch, Jürgen Hesselbach.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer Berlin Heidelberg | 2011 | Tyskland, Berlin, Heidelberg | 978-3-642-12903-2 |