Development of ultra-precision tools for metrology and lithography of large area photomasks and high definition displays
- Författare
- Lars Peter Ekberg
- (Peter Ekberg)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | xiv, 105 sidor. : ill. | 978-91-7501-768-6 |
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | xiv, 105 sidor. ill. (PDF) |