Dry etching for VLSI
- Författare
- A. J. van Roosmalen
- (A.J. van Roosmalen, J.A.G. Baggerman, S. J.H. Brader.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Plenum | cop. 1991 | USA, New York | xvii, 237 sidor. ill. |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Plenum | cop. 1991 | USA, New York | xvii, 237 sidor. ill. |