Elektronstråleexponerade masker för tillverkning av halvledarkomponenter och integrerade kretsar - Beskrivning av metod och utrustning
- Författare
- Börje Åstrand, 1946-
- (Börje Åstrand, Göran Stille.)
- Språk
- Svenska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1975 | Seychellerna, Stockholm | [46] sidor. (var. pag.) ill. 30 cm |