Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
- Författare
- Henry Baltes
- (Ed. byHenry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Heirold, John G. Korvink, Osamu Tabata)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley-VCH | 2013 | Tyskland, Weinheim | 427 sidor. | 978-3-527-67506-7, 978-3-527-33498-8 |