Etching in microsystem technology
- Originaltitel
- Ätzverfahren für die Mikrotechnik
- Författare
- J. M. (J. Michael) Köhler
- (Michael Köhler translated by Antje Wiegand.)
- Genre
- Electronic books., Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley-VCH | c1999 | Tyskland, Weinheim, New York | xvi, 368 sidor. ill. 25 cm. | 978-3-527-61378-6 |
| Wiley-VCH | cop. 1999 | Tyskland, Weinheim | 368 sidor. |