Fabrication of SiO₂ stamp for nanoimprint lithography by using electron beam lithography and reactive ion etching
- Författare
- Farnaz Ghods Isfahani
- (Farnaz Ghods Isfahani.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Chalmers tekniska högsk. | 2005 | Sverige, Göteborg | xiii, 90 sidor. ill. |