Field guide to optical lithography
- Författare
- Chris A. Mack
- (Chris A. Mack.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE press | 2006 | USA, Bellingham | online resource (xii, 123 sidor.) ill. | 978-0-8194-7821-4 |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE press | 2006 | USA, Bellingham | online resource (xii, 123 sidor.) ill. | 978-0-8194-7821-4 |