Fundamental Principles of Optical Lithography - The Science of Microfabrication
- Författare
- Chris. Mack
- Genre
- Electronic books.
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| John Wiley & Sons, Ltd. | 2011 | USA, Hoboken | 1 online resource (535 sidor.) | 978-0-470-72386-9 |
| Wiley | cop. 2007 | England, Chichester, West Sussex, England, Hoboken, NJ, USA | xvii, 515 sidor. ill. | 978-0-470-01893-4, 978-0-470-72730-0 |