Fundamental principles of optical lithography - the science of microfabrication
- Författare
- Chris A. Mack
- (Chris Mack.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley | cop. 2007 | England, Chichester, West Sussex, England, Hoboken, NJ, USA | xvii, 515 sidor. ill. | 978-0-470-01893-4, 978-0-470-72730-0 |