Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
- Författare
- Gary S. May
- (Gary S. May, Costas J. Spanos.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley | cop. 2006 | USA, Hoboken, N.J | xix, 463 sidor. ill. | 978-0-471-78406-7 |
| IEEE, Wiley-Interscience | c2006 | New Jersey, Piscataway, Hoboken, N.J | 1 online resource (xix, 463 sidor.) ill. | 978-0-471-79028-0 |