Growth and characterization of TiN/SiNx multilayer thin films
- Författare
- Hans Söderberg
- (Hans Söderberg.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Division of Engineering Materials, Luleå University of Technology | 2006 | Sverige, Luleå | [14], 146 sidor. | |
| Luleå tekniska universitet | 2006 | Sverige | 144 |