Growth and characterization of amorphous TiAlSiN and HfAlSiN thin films

Författare
Hanna Fager
(Hanna Fager.)
Genre
theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University, LiU-tr. 2012 Sverige, Linköping, Linköping xi, 83 sidor. 978-91-7519-843-9
Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University, LiU-tr. 2012 Sverige, Linköping, Linköping xii, 44 sidor. (PDF)