Growth of single- and polycrystalline TiN and ZrN thin films by reactive sputtering - influence of low energy ion irradiation
- Författare
- Lars Hultman
- (Lars Hultman.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Univ., VTT-grafiska | 1988 | Sverige, Linköping, Vimmerby | 187 sidor. diagr., ill., tab 24 cm |