Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing - Fundamentals and Applications
- Författare
- Karen A. Reinhardt
- Genre
- Electronic books.
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| John Wiley & Sons | 2011 | USA, Hoboken | 1 online resource (1193 sidor.) | 978-1-118-07173-1 |