Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Third Edition)
- Författare
- Tilli Markku; Paulasto-Kröckel Mervi; Petzold Matthias; Theuss Horst; Motooka Teruaki; Lindroos Veikko
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 2020 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat |