Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
- Författare
- Veikko. Lindroos
- Genre
- Electronic books.
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 2010 | USA, Burlington | 1 online resource (669 sidor.) | 978-0-08-094772-3 |