Improving resolution in photolithography by: 1. refractive-index enhancement in atomic immersion vapor 2. quantum state quenching of photoresist molecules
- Författare
- Magnus Rådmark
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Skolan för informations- och kommunikationsteknik, Kungliga Tekniska högskolan | 2005 | Sverige, Stockholm | 52 sidor. |