Integration of thulium silicate for enhanced scalability of high-k/metal gate CMOS technology

Författare
Eugenio Dentoni Litta
Genre
theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Infromation and Communication Technology, KTH Royal Institute of Technology 2014 Sverige, Stockholm xv, 107 sidor. : diagr., ill. 978-91-7595-115-7
KTH Royal Institute of Technology 2014 Sverige, Stockholm xv, 107