Ion implantation in semiconductors : proceedings of the II. International conference on ion implantation in semiconductors, physics and technology, fundamental and applied aspects May 24-28, 1971, Garmisch-Partenkirchen, Bavaria, Germany / edited by I. Ruge and J. Graul
- Författare
- Germany) 1971 : (2nd International Conference on Ion Implantation in Semiconductors Garmisch-Partenkirchen
- Språk
- Okänt
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Springer-Verlag | uuuu-uuuu | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
Springer-Verlag | uuuu-uuuu | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | 978-3-642-80660-5 |