Laser processing of thin films and microstructures - oxidation, deposition, and etching of insulators
- Författare
- Ian W. Boyd
- (Ian W. Boyd.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer | cop. 1987 | Tyskland, Berlin, New York | viii, 320 sidor. ill. |