Lithography for VLSI
- Författare
- Norman G. Einspruch
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 1987 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
| Academic P. | 1987 | USA, New York | xi, 361 sidor. |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 1987 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
| Academic P. | 1987 | USA, New York | xi, 361 sidor. |