Lithography process control
- Författare
- Harry J. Levinson
- (Harry J. Levinson.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE Optical Engineering Press | cop. 1999 | USA, Bellingham, Wash | x, 190 sidor. ill. 26 cm | |
| SPIE Optical Engineering Press | c1999 | Washington, Bellingham, Wash | x, 190 sidor. ill. 26 cm. | 978-1-61583-736-6 |