MEMS Materials and Processes Handbook
- Författare
- Reza. Ghodssi
- (Edited by Reza Ghodssi, Pinyen Lin.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer US | 2011 | USA, Boston, MA | 978-0-387-47318-5 |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer US | 2011 | USA, Boston, MA | 978-0-387-47318-5 |