MEMS and microsystems - design, manufacture, and nanoscale engineering
- Författare
- Tai-Ran Hsu
- (Tai-Ran Hsu.)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska



Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
John Wiley | cop. 2008 | USA, Hoboken, N.J | xxv, 550 sidor. ill. 25 cm | 978-0-470-08301-7 |
McGraw-Hill | cop. 2002 | USA, Boston | xii, 436 sidor. ill. 24 cm |