Micro and Nano Fabrication - Tools and Processes
- Författare
- Hans H. Gatzen
- (Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer Berlin Heidelberg, Imprint: Springer | 2015 | Tyskland, Berlin, Heidelberg | XXVI, 519 sidor. 357 illus., 54 illus. in color. online resource. | 978-3-662-44395-8 |