Microlithography fundamentals in semiconductor devices and fabrication technology
- Författare
- Saburo Nonogaki
- (Saburo Nonogaki, Takumi Ueno, Toshio Ito.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Dekker | cop. 1998 | USA, New York | , 327 sidor. ill. |