Microlithography - process technology for IC fabrication
- Författare
- David J. Elliott
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| McGraw-Hill | cop. 1986 | USA, New York | 378 sidor. : ill., tab. | 0-07-019304-5 |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| McGraw-Hill | cop. 1986 | USA, New York | 378 sidor. : ill., tab. | 0-07-019304-5 |