Microlithography - science and technology
- Författare
- (Edited by Kazuaki Suzuki and Bruce W. Smith.)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| CRC, Taylor & Francis distributor | 2007 | USA, New York, London | 848 sidor. ill. 23 cm. | 978-0-8247-9024-0 |