Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS

Författare
Vijay K. Varadan
(Vijay K. Varadan, Xiaoning Jiang and Vasundara V. Varadan.)
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Wiley cop. 2001 Storbritannien, Chichester xiii, 260 sidor. ill.