Microstructural characterization and hardening behavior of reactive magnetron sputtered TiN/Si₃N₄ multilayer thin films
- Författare
- Hans Söderberg
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 2004 | Sverige, Luleå | 64 sidor. : ill. | ||
| Luleå tekniska universitet | 2004 | Sverige, Luleå | 64 |