Modeling and experimental studies of high power impulse magnetron sputtering discharges
- Författare
- Chunqing Huo
- (Chunqing Huo.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | xiii, 75 sidor. (PDF) | |
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | xiii, 75 sidor. | 978-91-7501-819-5 |