On electron beam lithography for LSI circuit fabrication
- Författare
- Börje Åstrand
- (Börje Åstrand.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1979 | Sverige, Stockholm | 14 sidor. 30 cm |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1979 | Sverige, Stockholm | 14 sidor. 30 cm |