Optical Lithography - here is why
- Författare
- Burn Jeng Lin
- (Burn J. Lin.)
- Genre
- Electronic books
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE Press | 2021 | USA, Bellingham, Washington USA | online resource (xvii, 560 sidor) illustrationer | 978-1-5106-3996-6 |
| SPIE Press | 2010 | USA, Bellingham | online resource (xiv, 477 sidor) illustrationer | 978-0-8194-8182-5 |