PVD for microelectronics - sputter deposition applied to semiconductor manufacturing
- Författare
- Ronald A. Powell
- (Ronald A. Powell, Stephen M. Rossnagel.)
- Språk
- Engelska
![](https://images.amazon.com/images/P/012533026X.01.MZZZZZZZ.jpg)
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Academic | cop. 1999 | USA, San Diego | xiii, 419 sidor. ill. |