PVD for microelectronics - sputter deposition applied to semiconductor manufacturing
- Författare
- Ronald A. Powell
- (Ronald A. Powell, Stephen M. Rossnagel.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic | cop. 1999 | USA, San Diego | xiii, 419 sidor. ill. | |
| Academic Press | c1999 | Kalifornien, San Diego | 1 online resource (434 sidor.) | |
| Elsevier | 1999 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat |