Plasma Processing for VLSI
- Författare
- Norman G. Einspruch
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 1984 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
| Academic P. | 1984 | USA, New York | xiv, 527 sidor. ill. 24 cm |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 1984 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
| Academic P. | 1984 | USA, New York | xiv, 527 sidor. ill. 24 cm |