Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
- Författare
- Maurice H. Francombe
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier | 1994 | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | ||
| Cop. 1994 | USA, New York | xii, 328 sidor. | ||
| Academic Press | 1994 | Kalifornien, San Diego, California | 1 online resource (343 sidor.) | 978-0-08-092513-4 |