Plasma processing of semiconductors / edited by P. F. Williams
- Författare
- France) (1996 NATO Advanced Study Institute on Plasma Processing of Semiconductors Bonas
- Språk
- Okänt
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| uuuu-uuuu | Utgivningsland okänt / Ej specificerat | 978-94-011-5884-8 |