Polycrystalline SixGe₁-x as the gate electrode in CMOS technology
- Författare
- Per-Erik Hellberg
- (Per-Erik Hellberg.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Kista snabbtr. | 2000 | Sverige, Stockholm, Kista | [6], iv, 42 sidor. 25 cm |