Preparation and electrical characterization of silicon structures formed by wafer bonding
- Författare
- Stefan Bengtsson
- (Stefan Bengtsson.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Chalmers tekniska högsk., Teknologtr. | 1991 | Sverige, Göteborg, Göteborg | [8], 60 sidor. diagr., tab. 25 cm |