Proceedings of the 36th National Symposium of the American Vacuum Society P. 1, Thin films, plasma science, electronic materials, vacuum metallurgy - 23-27 October 1989, Boston, Massachusetts
- Författare
- American Vacuum Society
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1990 | USA, New York | xlvii sidor., sidor. 1277-2195 |